晶圓封裝成型用晶圓封裝石墨模具

晶圓封裝成型用晶圓封裝石墨模具：
由于石墨資料具有化學(xué)穩(wěn)定性，不易受熔融晶圓封裝的浸潤(rùn)，不會(huì)改動(dòng)晶圓封裝的成分，石墨資料耐熱沖擊功能杰出，尺度隨溫度變化小等特色，所以近年來(lái)在晶圓封裝制作中成為不可缺少的晶圓封裝石墨模具資料，能夠用它來(lái)制作晶圓封裝管，彎管，漏斗及其它各種異型晶圓封裝瓶的鑄模。石墨制品石墨晶圓封裝石墨模具?封裝模及其它金剛石封裝晶圓封裝石墨模具石墨加工。

利用人造石墨資料熱變形極小的特色，可制作晶體管的封裝晶圓封裝石墨模具和支架，現(xiàn)已廣泛使用，它已成為發(fā)展半導(dǎo)體工業(yè)不可缺少的資料。此外，石墨晶圓封裝石墨模具也使用于鑄鐵用的鑄型，各種有色金屬用的耐久性鑄模，鑄鋼用鑄型，耐熱金屬（鈦，鋯，鉬等）用的鑄型及焊鋼軌用的鋁熱焊型的鑄型等。熱壓封裝金剛石東西用石墨晶圓封裝石墨模具,在金剛石東西制作過(guò)程中擔(dān)負(fù)著發(fā)熱元件和晶圓封裝石墨模具支撐的兩層作用,石墨晶圓封裝石墨模具質(zhì)量的優(yōu)劣,直接影響到金剛石東西的尺度精度、外觀形狀等。

熱壓封裝工藝要求:溫度達(dá)到(1000±2)℃,成型壓力16～50 MPa,保溫保壓時(shí)間為15～30min,環(huán)境為非真空狀態(tài)。在此工況條件下,既要求成型及發(fā)熱元件的石墨晶圓封裝石墨模具具有導(dǎo)電性、較高的電阻率、滿足的機(jī)械強(qiáng)度,還需要其具有杰出的抗氧化功能和較長(zhǎng)的使用壽命,以確保金剛石東西的尺度精度和優(yōu)異功能。熱彎晶圓封裝石墨模具

現(xiàn)在,西方發(fā)達(dá)國(guó)家金剛石東西制作用石墨晶圓封裝石墨模具資料,主要為超細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)、高純度和高石墨化度的石墨資料,要求其均勻粒徑小于15μm,甚至10μm以下,中等氣孔尺度小于2μm。用此炭素原料做成的石墨晶圓封裝石墨模具,氣孔率小、結(jié)構(gòu)致密、表面光潔度高、抗氧化性較強(qiáng),均勻使用壽命可達(dá)30～40次。金剛石晶圓封裝石墨模具要求材質(zhì)硬度高，抗氧化功能好，加工精度高級(jí)特色，選用優(yōu)質(zhì)石墨原資料大大延長(zhǎng)了晶圓封裝石墨模具使用壽命和提高了抗氧化功能,石墨抗氧化涂層